真空爐出現(xiàn)于20世紀(jì)30年代前后。1927年美國(guó)制成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業(yè)上已用于熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應(yīng)爐在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。1960年美國(guó)研制成油淬真空爐。

真空爐一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和控溫系統(tǒng)等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，真空爐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件,如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動(dòng)澆注裝置和裝卸料的機(jī)械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計(jì)等組成。

真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）

真空爐按結(jié)構(gòu)分可分為立式及臥式兩種系列，立式系列又分為鐘罩升降式與底部托盤升降式兩種。臥式系列又分單開門結(jié)構(gòu)與前后雙開門結(jié)構(gòu)兩種。爐體均采用水冷夾壁結(jié)構(gòu)。

加熱保溫室采用全金屬型及復(fù)合型兩種可供選擇，全金屬型采用耐熱不銹鋼與鉬屏組成；復(fù)合型采用耐熱不銹鋼、鉬屏與碳?xì)?、莫來石纖維或硅酸鹽纖維組成。具體選擇取決于用戶的工藝條件和對(duì)工藝環(huán)境的要求。

加熱器有鎳鉻絲（帶）、鉬絲（帶、棒）、石墨等幾種類型，具體的選擇取決于用戶要求的最高溫度。加熱器分布方式有四面加熱型和全方位加熱兩種，確保用戶對(duì)爐內(nèi)溫度均勻型的要求。

冷卻系統(tǒng)有羅茨鼓風(fēng)機(jī)外循環(huán)結(jié)構(gòu)、離心風(fēng)機(jī)外循環(huán)結(jié)構(gòu)、冷壁離心風(fēng)機(jī)內(nèi)循環(huán)結(jié)構(gòu)等幾種類型，滿足不同降溫速度的要求。

抽真空系統(tǒng)有離子泵+渦輪分子泵+機(jī)械泵、渦輪分子泵+機(jī)械泵、擴(kuò)散泵+羅茨泵+機(jī)械泵、羅茨泵+機(jī)械泵、低溫冷凝泵+機(jī)械泵等幾種類型，根據(jù)極限真空度指標(biāo)選擇。

溫度控制采用進(jìn)口智能溫控儀，能實(shí)現(xiàn)升溫、恒溫、降溫的自動(dòng)控制功能；具有工藝曲線存儲(chǔ)功能，可存儲(chǔ)多條不同的工藝曲線；具有升降溫速度可調(diào)及準(zhǔn)確的時(shí)鐘功能，可以同時(shí)顯示實(shí)際溫度和設(shè)定溫度等多種參數(shù)；具有PID參數(shù)自運(yùn)算及掉電保護(hù)功能。

具有完善的報(bào)警及保護(hù)措施。

配有進(jìn)口多點(diǎn)記錄儀，可記錄全部工藝過程的真空度、壓力、溫度等工藝曲線，便于工藝分析、質(zhì)量監(jiān)控及生產(chǎn)管理。

真空計(jì)可選用高可靠的進(jìn)口數(shù)字智能真空計(jì)或國(guó)產(chǎn)質(zhì)優(yōu)的真空計(jì)，確保真空度與溫度控制連鎖，滿足工藝要求。

整個(gè)工藝過程控制采用進(jìn)口可編程序控制器（PLC）完成，全部動(dòng)作均采用連鎖保護(hù)，具有手動(dòng)及自動(dòng)兩種工作方式，用戶可以選擇全手動(dòng)工作方式，也可以選擇工控機(jī)群控多臺(tái)的方式。

真空爐