沈陽恒進真空科技有限公司
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用于碳碳復(fù)合材料、石墨軟氈、石墨硬氈的高溫石墨化處理或其他產(chǎn)品的高溫燒結(jié)處理。高溫純化爐是將石墨制品、石墨軟氈、石墨硬氈或SiC粉體等通過高溫焙燒和工藝氣體定向流動，經(jīng)過物理擴散、化學(xué)反應(yīng)使雜質(zhì)元素從基體中排出，形成灰分含量低（5ppmw）、金屬含量降到PPB數(shù)量級，從而達到半導(dǎo)體晶體生長對石墨品質(zhì)（或粉體原料）要求的工藝過程。
采用恒進專屬超高溫、大電流引電技術(shù)，能在2400℃條件下長時間穩(wěn)定使用。
規(guī)格 | 溫區(qū)尺寸（mm） | 最高溫度（℃） | 壓升率（Pa/h） | 極限真空度（Pa） |
RVSG-1316H | φ1300*1600 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-3126H | φ3100*2600 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-202048 | 2000*2000*4800 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-151520 | 1500*1500*2000 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
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