用于碳碳復(fù)合材料、石墨軟氈、石墨硬氈的高溫石墨化處理或其他產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)處理。高溫純化爐是將石墨制品、石墨軟氈、石墨硬氈或SiC粉體等通過(guò)高溫焙燒和工藝氣體定向流動(dòng),經(jīng)過(guò)物理擴(kuò)散、化學(xué)反應(yīng)使雜質(zhì)元素從基體中排出,形成灰分含量低(5ppmw)、金屬含量降到PPB數(shù)量級(jí),從而達(dá)到半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)對(duì)石墨品質(zhì)(或粉體原料)要求的工藝過(guò)程。
采用恒進(jìn)專(zhuān)屬超高溫、大電流引電技術(shù),能在2400℃條件下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定使用。
規(guī)格 | 溫區(qū)尺寸(mm) | 最高溫度(℃) | 壓升率(Pa/h) | 極限真空度(Pa) |
RVSG-1316H | φ1300*1600 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-3126H | φ3100*2600 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-202048 | 2000*2000*4800 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |
RVSG-151520 | 1500*1500*2000 | 2400 | 0.67 | 0.5-500Pa |